Processo de tratamento da superfície do Rail de Guia Micro no desempenho do Impacto e Aplicação Principal

Processo de tratamento da superfície do Rail de Guia Micro no desempenho do impacto e aplicação chave

I . Tratamento de superfície: guia miniatura Rail "Código de personalização de desempenho"

Micro guide rail surface treatment is like wearing "functional armor" for precision machinery, by changing the surface structure and performance, targeted solution to the core needs of wear resistance, corrosion resistance, friction reduction and so on. In the nano-scale movement of semiconductor equipment, medical instruments in a sterile environment, the surface treatment directly determines the guide's ability to maintain accuracy and service life.

High-quality miniature guide rail core technology characteristics analysis

Segundo, os quatro principais tipos de processo de Remodeling de Desempenho

1. extinta e endurecimento: para o guia "músculo"

Núcleo do processo:Alta temperatura que extingue para tornar a superfície do guia 'endurecimento', a dureza pode estar em HRC 58-62, como a superfície do metal injetado no "músculo" .}

Mudança de desempenho:

A resistência ao desgaste é aumentada em mais de 3 vezes, por exemplo, em equipamentos de manuseio de bolacha semicondutores, a guia extinta pode suportar mais de 100, 000 tempos de movimento alternativo sem desgaste .

Maior resistência à deformação, mesmo sob grandes cargas verticais, a guia não é fácil de dobrar, garantindo a precisão do posicionamento no nível de mícrons .

NOTA: Após a extinção, deve ser "temperado" para eliminar o estresse interno, caso contrário, pode se tornar quebradiço e rachado .

2. Eletroplating Plating: para o guia "Use roupas de proteção"

Casos típicos:

Crata do cromo dura:Na superfície do trilho-guia, com alguns mícrons, cromo duro de espessura, não apenas resistente ao desgaste e resistente à corrosão, adequado para contato com o equipamento de teste médico de refrigerante .

Liga de níquel-fosforus revestimento:superfície lisa como um espelho, baixo coeficiente de atrito e resistência à corrosão por spray de sal de mais de 1000 horas, comumente usadas na câmara de vácuo semicondutor .

Impacto intuitivo:

A resistência à ferrugem é dramaticamente melhorada, por exemplo, em um ambiente úmido, os trilhos banhados levam até 10 vezes mais para ferrugem do que os não tratados .

Movimento mais suave e 10-15 Redução de ruído dB em alta velocidade . 3.

3. revestimento especial: adicione habilidades especiais ao guia

Coating do tipo diamante (DLC): como colocar "nano armadura" na guia, é extremamente difícil e auto-lubrificante, adequado para ambientes de vácuo (E . g ., plataformas de fotolitografia), com um coeficiente baixo de atrito como baixo como0.05.

Revestimento de dissulfeto de molibdênio (MDS): alta resistência à temperatura e economia de óleo, ele também pode operar de forma estável sem lubrificação adicional em equipamentos aeroespaciais, com um coeficiente de atrito de apenas 0.03.

Cenários de aplicativos:Os guias revestidos com DLC são usados em equipamentos de gravura semicondutores para resistir ao bombardeio intenso do feixe de íons, enquanto os revestimentos de dissulfeto de molibdênio são usados em ambientes espaciais sem óleo e alto vaco.

4. BLINGENING: "Proteção básica" para guias

Simples e prático:O filme de proteção preto é formado por oxidação, baixo custo e adequado para ambientes internos secos (E . g . 3 D impressoras) .

Simples e prático:formando um filme de proteção negra por oxidação, baixo custo, adequado para o ambiente seco interno (E . g . 3 D impressoras) .

Seleção baseada em cenário: como "Vestir a direita" guia

Laboratórios de alta precisão:Escolha o revestimento DLC ou a extinção + moagem para garantir nenhuma perda de precisão em uso a longo prazo .

Fábrica de Semicondutores:Deve usar revestimento de níquel-fosforus ou revestimento DLC, não apenas para resistir à corrosão química, mas também à operação estável em um vácuo .

Robôs cirúrgicos minimamente invasivos médicos:revestido com dissulfeto de molibdênio ou anodizado com liga de titânio, que não é magnética e sem manutenção, e atende aos requisitos estéreis .

Conclusão: O tratamento da superfície é um "otimizador direcional" do desempenho

Diferentes tratamentos de superfície são como equipar um trilho em miniatura com diferentes "equipamentos":endurecendo para torná-lo mais forte, revestimento de torná-lo mais resistente à corrosão e revestimentos para torná-lo adaptável a ambientes extremos . ao escolher, lembre-se: de acordo com o uso de cenários "personalizados", a fim de permitir o guia de precisão no espaço milímetro para reproduzir o desempenho máximo.}

Guideway and slide tightness adjustment of the whole strategy: from inspection to commissioning